必一运动B-sports官方网站用射频电源自动阻抗匹配解析调谐法

在必一运动B-sports官方网站干法清洗的应用场景中，阻抗失配会降低样品表面镀层的清洗速度，清洗效果变差；因此，无论是何种应用场合，阻抗匹配是保证系统正常工作乃至提高电力

传输效率的必要条件，其中快速且高精度的阻抗匹配算法是改良整个射频电源系统性能并提升工艺效果的重要因素。

等离子射频电源自动阻抗匹配系统如上图所示，其主要由 ZYNQ 中央处理系统、射频 VI probe解析调谐法对采样反馈的负载阻抗精度要求较高，采样精度直接影响了算法精

度从而决定了匹配效果，因此采样模块是射频系统的核心模组，在提高系统匹配稳定性上至关重要。

针对射频电源等离子清洗的应用场景，借助高精度的阻抗采样系统，提出了一种基于 L 型匹配网络和 Smith 圆图的解析调谐法，当负载阻抗在允许范围内可经由计算公式直

接推出最优容值，较现有的智能寻优算法更加快速的实现阻抗匹配、抑制反射波的发生，并保证射频电源系统实现最大功率的传输，实现更好的清洗效果。

等离子密度低时，鞘层厚度可变得与真空窗的厚度一样大，此时容性功率随着鞘层厚度的增大而增大，因此容性吸收功率随着密度的减小而增大，此时任何放电都会导致容性

驱动在高密度必一运动B-sports官方网站形成之前，点火阶段的高压电场可以助燃必一运动B-sports官方网站，点火阶段的容性耦合也对后续感性放电的启动和维持起到重要的作用，所以匹配器需要满足点火和

电离阶段不同负载阻抗形式的匹配需求。

 实验结果

为了进一步验证算法在必一运动B-sports官方网站工况下的可靠性，对已氧化铜样品进行还原，在经过 80s 的处理时间后，如上图（清洗后）下图（清洗前） 所示，铜样品表面的氧化物

薄膜几乎被清洗完全，铜样品被还原至原来的颜色。