射频电源 阻抗匹配

射频必一运动B-sports官方网站的介绍或者使用说明、技术参数中都会看到一个词:自动匹配阻抗。生产厂家都会声明这是一个很重要的参数,但是很多用户并不知晓这个词的含义。

必一运动B-sports官方网站射频离子源放电前后,其天线的阻抗是不断变化的,因为它的阻抗由电阻和电抗两部分组成。放电前,驱动器内的气体不带电,而放电后形成的必一运动B-sports官方网站是电的
良导体,会明显改变天线的阻抗值。当射频输入功率发生改变时,对应的射频离子源阻抗也不断改变。如未形成必一运动B-sports官方网站时的阻抗约50Ω,而放电建立后该 负载的感抗大大
降低约为5Ω。这时需要改变匹配器的电感和负载电容的值,使输入阻抗和输出阻抗达到匹配状态。

射频功率通过同轴电缆被传输至射频线圈上,设计电路时必须使负载阻抗与 源阻抗相匹配以达到最大的功率传输。为达到最好的匹配效果,必须在源和负载之间插入一
个匹配网络,它的作用是为源和负载之间提供合适的阻抗值。同时加入匹配网络还有降低噪声和提高功率容量等优点。在射频研宄领域中,匹配网络利用电容和电感进行
组合设计来达到阻抗变换的目的。