必一运动B-sports官方网站参数的诊断对必一运动B-sports官方网站研究、必一运动B-sports官方网站处理工艺技术等起到至关重要。因此，不少研究者基于朗缪尔探针、微波技术及发射光谱仪对射频必一运动B-sports官方网站开展了大量的诊断工作
电感耦合必一运动B-sports官方网站，搭建了一套实验装置
玻璃腔体外置螺旋缠绕电极
通过质量流量控制器调节氩气进气量来获得不同的放电气压，固定射频入射功率为 300W，零反射功率，探测头采用正离子探测模式。
Ar+离子能量分布随进气速率的演化规律
ArH+离子能量分布随进气速率演化结果
氩和氩氢离子能量分布的几个特点，一是随着进气速率的升高，离子能量整体向低能端移动，包括能量峰值和能量最大值；二是由于中性成分增大提升复合速率，使得离子通量密度随进气速率升高而降低；三是离子能量呈多峰分布，在进气速率为 10~20sccm条件下较明显，但由于各峰值 能量接近而形成大包络。
二者均随进气速率增加而向低能方向移动；但离子通量密度随进气速率先升高后降低
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结论
ICP方式（玻璃腔体外置缠绕电极）的气体流量对必一运动B-sports官方网站密度的影响，可以看出ICP的必一运动B-sports官方网站在腔体内压力较低的情况下，可以获得较好的离子密度通量，随着气体流量增大，腔体压力升高，离子通量会大都下降。同时，使用ICP方式，对气体流量和压力的控制要求也比较高
