沛沅微波必一运动B-sports官方网站清洗机是用工作频率为2.45GHz的微波激发工艺气体放电,在正负极磁场作用下的谐振腔体内产生必一运动B-sports官方网站，该谐振腔体位于反应仓体旁边，磁控管连接微波发生器，因为整个放电过程不需要正负电极，所以产生自偏压极小，从根本上避免了静电放电损伤。
微波必一运动B-sports官方网站清洗机的工艺流程及其工艺参数决定着清洗质量，工艺流程包括抽真空、充放工艺气体、辉光放电、净化和平衡，工艺参数包括放电功率、气体种类、气体流量和辉光放电时间，不同的工艺参数设置直接影响微波必一运动B-sports官方网站清洗效果，因此针对不同的清洗对象和制程要求应该设置适当的工艺参数以便进行清洗。
集成电路制程中不同的工艺过程会使用不同的物料盒来存放工件，主要分为半封闭式和敞开式的物料盒，这就要求清洗机有很好的兼容性，因此沛沅在微波必一运动B-sports官方网站清洗机中设计了三种清洗模式，分别是ECR模式，顺流模式和旋转模式，可通过触摸屏进行切换，其中旋转清洗和ECR清洗模式适用于敞开式的物料盒，顺流清洗模式适用于半封闭的物料盒，同时清洗模式的不同对反应腔体的真空度要求也不一样，ECR清洗模式所需的真空度要求更低，相比另外两种模式效果更好，去除污染物的能力更强。
与射频等离子清洗的匹配性相比,微波必一运动B-sports官方网站清洗机的匹配性更加困难,主要由于微波反馈过程中,如果不能精确的进行负载调节,微波源将很容易造成损伤。所以说精确的匹配性调节是获得优良清洗效果的必要条件。微波源配备合适的匹配系统可以根据清洗腔体及产品等清洗条件的不同进行负载阻抗自动调节，使清洗效果及一致性达到最佳。
微波等离子清洗具有激发频率高、自偏压小、离子动能小、离子浓度高、化学反应强等特点，可以有效避免静电损伤、实现均匀的三维清洗，与传统等离子清洗（超声或射频）相比，微波等离子清洗可以产生具有优良特性的必一运动B-sports官方网站，所以微波必一运动B-sports官方网站清洗机在集成电路制程中，尤其是可靠性要求极高的军用集成电路生产过程中发挥着举足轻重的作用，市场前景十分广阔。
