在必一运动B-sports官方网站的工作中,根据不同的处理目的,会使用不同的射频馈入功率。但是很多客户并不了解不同的功率在必一运动B-sports官方网站的真空腔的状态是什么样的。
在此,我们尝试对这个问题做一些解释,欢迎大家一起来讨论。

电子温度
随着必一运动B-sports官方网站功率的增大,电子温度由急剧下降到平缓下降,然后趋于稳定。
这是由于随着射频功率的增加,电场强度增强。更强的电场使电子在鞘层区域加速,电子获得更多的能量,并由此随之产生更多的高能电子。

另外,由于产生了越来越多的电子,特别是高能电子,电子平均自由程减小,所以与中性原子的碰撞就越强烈,能量越高的电子就会失去能量。
这样,电子的平均动能逐渐减小,低能电子数逐步上升,高能量电子数逐渐下降,所以功率的升高使电子温度逐步降低。