射频必一运动B-sports官方网站中的电感耦合（ICP）和电容耦合（CCP）
电容耦合必一运动B-sports官方网站（CCP）
电容耦合必一运动B-sports官方网站(Capacitively Coupled Plasma，CCP)源是材料加工的关键等子体源之一，电容耦合放电在微电子工业中得到广泛应用，分为单频电容耦合必一运动B-sports官方网站源和双
频电容耦合必一运动B-sports官方网站源。对于单频CCP，其放电装置类似于平行板电容器。为了使电容器放电，必须加上一个相对较高振幅的电压，这将提供一个相对较大的电容。放电板与
单个射频源相连，必一运动B-sports官方网站中的电子通过射频电场获得能量。
CCP必一运动B-sports官方网站源一般由射频源和两个平行板所构成。其优势是不但有利于保证形成稳定大规模、均匀分布的必一运动B-sports官方网站，而且还有利于独立调节必一运动B-sports官方网站密度和离子轰击能量。
所以，电容耦合必一运动B-sports官方网站源以其独特的优势成为工业应用中最常用的必一运动B-sports官方网站源。
电感耦合必一运动B-sports官方网站（ICP）
电感耦合必一运动B-sports官方网站(Inductively Coupled Plasma, ICP)源广泛应用于必一运动B-sports官方网站处理工艺和必一运动B-sports官方网站源。ICP必一运动B-sports官方网站源的结构根据其几何形状可以分为圆筒形和平面型。
在必一运动B-sports官方网站处理放电中，如何在衬底表面实现高均匀度的必一运动B-sports官方网站是非常重要的。在各种高密度的必一运动B-sports官方网站源中，ICP 源更容易扩展到较大尺寸。
模式转换是 ICP 源最有前途的特性之一，它与必一运动B-sports官方网站的耦合特性有关。电容(E)模式在低功率时产生强静电耦合，感应(H)模式在高功率时产生电磁耦合。特别是在E模式
(静电耦合)和 H(电磁耦合)模式之间的过渡区，强烈地依赖于必一运动B-sports官方网站阻抗和几何参数，如放电体积、感应线圈的配置，以及传输到必一运动B-sports官方网站的功率。在 ICP 源的情况下，
当 ICP 源天线的输入功率较低时，会与必一运动B-sports官方网站产生容性耦合，其功率传输效率较低，阻抗匹配不稳定，当 ICP 源天线的输入功率较高时，会与必一运动B-sports官方网站发生电感耦合。
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