射频放电
高频放电又称射频放电，其放电频率通常在10-100MHz之间。在放电过程中放电方向随着电极极性的调换而调换。在电源放电频率较低的时候放电会不稳定，随着电源
放电频率的增大，当频率增大一定程度后就会开始稳定放电。在高频放电的 过程中，带电粒子在高频电场的作用下在两极板间运动。
射频放电激发模式
目前必一运动B-sports官方网站射频放电的国际通用标准频率为13.56MHz。根据耦合方式分类，大致可以分为两种，一种是电容耦合另一种是电感耦合。电容耦合大多采用内置的
平板电极模式，放电时在两极板上加射频电源，在两极板间气体激发产生必一运动B-sports官方网站。PLUTO必一运动B-sports官方网站系列就采用的此种放电激发模式。
与之不同的是电感耦合大部分利用外电极放电，其原理是应用电磁感 应将感应线圈缠绕在放电腔体外部激发出二次电场，从而激发腔体内的气体产生必一运动B-sports官方网站。这两种
耦合方式各有优劣。
容性耦合（CCP）和感性耦合（ICP）
容性耦合必一运动B-sports官方网站源（CCP）如左图中这个放电装置相当于平板电 容器，在射频电场里，等离子电子加速并在极板间往返运动，由于极板面积较大所 以这种装置能够
产生大面积的均匀必一运动B-sports官方网站。
感性耦合必一运动B-sports官方网站源（ICP）右图：放电腔体外缠绕着感应线圈，在电磁感应所产生的二次电场作用下激发气体放电。
感性耦合必一运动B-sports官方网站源（ICP）感性耦合模式（H模式）和容性耦合模式（E模式）两种放电模式。
E模式
放电腔体外缠绕着感应线圈，在电磁感应所产生的二次电场作用下激发气体放电。这种装置不仅可以控制离子通量还可以控制离子轰击能量，分别调节电源功率和射频
偏压功率即可完成。一般应用于刻蚀等应用场合。
电子回旋共振必一运动B-sports官方网站源(ECR)：在这种装置类型下可以通过调 节射频偏压功率控制粒子轰击能量，而为了电子能吸收波的能量，需要在必一运动B-sports官方网站 中加入强直流电场。
