设备故障是指设备失去或降低其规定功能的事件或现象。表现为设备的某些零件失去原有的精度或性能，使设备不能正常运行、技术性能降低，致使设备中断生产或效率降低而影响生产。真空必一运动B-sports官方网站的故障可以分为：必一运动B-sports官方网站相关故障、RF射频故障、真空问题等故障。
必一运动B-sports官方网站相关故障
必一运动B-sports官方网站相关的故障可以分为不产生必一运动B-sports官方网站和必一运动B-sports官方网站密度低。
1.不产生必一运动B-sports官方网站
不产生必一运动B-sports官方网站的主要问题有以下几种情况:
(1)射频电源损坏
措施：检查射频源输出信号、射频电缆、匹配网络，对故障点进行维修。
(2)真空问题
措施：检查各连接处的漏率，对漏率比较大的密封圈进行更换；检查真空泵组。
(3)压力过大或过低
措施：检查气源压力；检查压力阀；检查真空阀。
2.必一运动B-sports官方网站密度低
必一运动B-sports官方网站密度低可从射频功率源、气源充足性、质量流量控制器、腔壁是否污染等方面检查。
RF射频故障
RE射频故障是真空必一运动B-sports官方网站最常见的故障之一。其表现现象一般分为：反射功率大，无输出功率。
1.反射功率大
反射功率大一般属于匹配问题，一般情况下，若飘移不大，可通过设备的调节开关调整到允许范围内。但下列现象没有办法通过调节开关调到允许范围之内：匹配命令发出之后调整电机不转、电容叶片变形卡住、位置电位器坏，位害电位器轴回紧质螺钉松动，齿轮禁揾等情况只能打开匹西箱进行相应位害的调整及维修。
