
等离子活化具有极为广泛的应用领域,这使其成为行业中广受关注的核心表面处理工艺。
台式必一运动B-sports官方网站通过RF电源产生电离气态的加速电子,离子和自由基共存的必一运动B-sports官方网站,与固体表面相互作用会导致三种表面清洁的基本现象:
1.从电子 - 样本相互作用加热;
2.从离子样品相互作用中溅射;
3.与根本样品的相互作用中进行灰化
所有必一运动B-sports官方网站在清洁速率方面是有效的,但它可以导致不可逆的表面样品改性(氧化)和不必要的加热(如果样品对温度敏感的话)。

上图中可以看到在电极附近的氧必一运动B-sports官方网站和碳膜附近的必一运动B-sports官方网站的密度是不相称的。
在真空度相对较高情况下,氧气转化为氧必一运动B-sports官方网站较为活跃,在相对较低的压力中,氧必一运动B-sports官方网站与碳分子的更有利于碳氧化合物的结合。

铝合金材质电极与氧气一起获得的典型清洁曲线射频等离子。
(a)静态供气模式下的清洁,
(b)动态供气模式下的清洁。
垂直的黑色(a)中的箭头表示O2气体补充。压力和功率数据表明了不同的工艺参数分别表示氧分压和RF功率。绿色圆圈代表清洁的终点当高速钢上的碳涂层被完全去除时的过程。



未处理时样品

处理20min

处理40min

处理70min