PLUTO-F(14.5L)方腔必一运动B-sports官方网站
PLUTO-F型必一运动B-sports官方网站表面处理系统是一款功能强大的桌面型表面必一运动B-sports官方网站设备，非常适合于高校，科学研究所和企业实验室，或者小批量生产；需要低成本运作；高效处理的企业。具备等离子设备几乎所有的功能，具有较大的腔体尺寸和灵活的电极配置方式。可用于更大的型的应用，包括生产水平的应用.
PLUTO-F灵活的电极布置，不仅可以实现小批量生产还可以应用于8寸晶圆的去胶和表面处理。
配置情况：
功率：500W
频率：13.56MHz
2路MFC，皮拉尼真空计
